Informationen über AQUABATE wet
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Anwendungen Trockenätzung BCl3, HBr, SiF4, Cl2, Nebenprodukte CVD DCS, NH3, SiH4, Nebenprodukte aus den Reinigungsschritten WCVD WF6, SiH4, Nebenprodukte aus den Reinigungsschritten LPCVD DCS, SiH4, NH3, PH3 Optionen Komplette Einhausung Für eine permanente Besaugung aller gasführenden Anlagenkomponenten Wärmetauscher Für geringeren Wasserverbrauch Chemikaliendosierung z.B. Lauge, für höhere Effizienzen bei bestimmten Gasen pH-Messung Für kontrollierte Chemikaliendosierung Analoge Eintrittsdrucksensoren Bessere Überwachungsmöglichkeit des Gaseintritts Beheizte Gaseintritte Für kritische Gase Netzwerkfähigkeit Für Monitoring mehrerer Wäscher ( Drücke, Pegel, Zustände, Alarmlisten ) nur für OMRON-SPS Automatischer Bypass Automatische Umschaltung vor dem Wäscher mittels 3-Wegeventil bei Störung /Wartung Ableitung mittels Unterdruck Abpumpen der verbrauchten Waschflüssigkeit in höher gelegene Abwassersysteme Dieser Wäschertyp wird vor allem als POU (point of use)-Wäscher in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Die Wäscher werden in kürzest möglichen Abständen hinter den Vakuumpumpen installiert und schützen so optimal das FAB-Absaugungssystem. Der AQUABATE ist mit bis zu drei separaten anti-clogging Einlässen lieferbar. Die Zuleitungen zu diesen Einlässen können auf bis zu 150°C beheizt werden.
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