Informationen über ESCAPE burnwet
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Die Abgase aus dem Prozess werden in die Mitte eines Brenners geleitet, in dessen Flamme die Thermolyse der Abgase einsetzt. Abhängig von der chemischen Zusammensetzung der Abgase kommt es zu verschiedenen Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse). Im anschließenden Waschprozess werden die im Verbrennungsprozess entstandenen gasförmigen und soliden Bestandteile durch eine entsprechende Flüssigkeit gebunden. Bei der Behandlung von Abfallprodukten, welche sensibel gegenüber Hydrolyse oder Oxidation sind, wird das Stickstoff-Reinigungssystem (NPS "Nitrogen-Purge-System") eingebaut und die Anlage und Ventile werden beheizt. Typische Beispiele hierfür sind Bor-Trichlorid, Wolfram-Hexaflouride und Siliziumwasserstoff, welche mit Luftfeuchtigkeit oder Sauerstoff reagieren und Ablagerungen ausbilden, die die Produktionslinien und Armaturen blockieren können. Die Verbrennungs-/Waschtechnologie ist eine der weltweit effektivsten Techniken für die Abgasbehandlung, mit geringen Investitionskosten. Daher ist diese Technologie das Herzstück unserer ESCAPE Produktlinie. Die ESCAPEINLINE® ist unser bewährtes Basissystem, welches die Behandlungsvoraussetzungen von 90 Prozent der Prozesse in der Halbleiterindustrie erfüllt.
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