Informationen über ESCAPEINLINE
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ESCAPEINLINE® Spezifikation, bis zu 4 getrennte Einlässe, verschiedene Brenngase möglich, geringer Wasserverbrauch wegen Kreislaufsystems, in 2 Höhen verfügbar, SEMI S2 gerecht Technische Daten:, Größe (B x T x H) : 830 mm x 675 mm x 1800 / 2070 mm, Gaseinlässe : max. 4 x KF25 oder KF 40, Gasauslass: max. DN100, max. Gasfluß: 18 m3/h Die Verbrennungs-/Waschtechnologie ist eine der weltweit effektivsten Techniken für die Abgasbehandlung, mit geringen Investitionskosten. Daher ist diese Technologie das Herzstück unserer ESCAPE Produktlinie. Die ESCAPEINLINE® ist unser bewährtes Basissystem, welches die Behandlungsvoraussetzungen von 90 Prozent der Prozesse in der Halbleiterindustrie erfüllt. Die Anlage weist zahlreiche Vorteile, wie die hohe Behandlungseffektivität, niedrige Anschaffungskosten, eine kleine Stellfläche und Netzwerkfähigkeit, auf. Es kann jedes beliebige Brenngas verwendet werden. ESCAPE-Systeme können direkt nebeneinander aufgestellt werden, da nur ein Zugang zu Vorder- und Rückseite für die Wartung benötigt wird. Die Instandsetzung funktioniert einfach und schnell ohne dass spezielle Werkzeuge benötigt werden.
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