Informationen über ESCAPETWIN
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ESCAPETWIN® Spezifikation, Hauptreaktor mit bis zu 4 getrennten Schadgaseinlässen, fast 100 % Verfügbarkeit aufgrund der Back-up Funktion, Back-up Reaktor erlaubt unterbrechungsfreien Betrieb während der Wartung, verschiedene Brennergase, geringer Wasserverbrauch wegen des Kreislaufsystems, SEMI S2 gerecht Technische Daten:, Größe (B x T x H) : 1325 mm x 775 mm x 2070 mm, Gaseinlässe : max. 4 x KF25 oder KF 40, Gasauslass: max. DN100, max. Gasfluß: 18 m3/h Das ESCAPETWIN® System ist die ideale Abgasbehandlung für alle gefährlichen und bei PFC-Prozessen entstehenden Gasen in der Halbleiterindustrie, wie zum Beispiel SiH4, TEOS, BCl3, CF4, C2F6, F2, SF6, Cl2, NH3, WF6, NF3, PH3, HBr, etc Die Verbrennungs-/Waschtechnologie ist eine der weltweit effektivsten Techniken für die Abgasbehandlung mit geringen Investitionskosten. Daher ist diese Technologie das Herzstück unserer ESCAPE Produktlinie. Wenn der Benutzer eine hundertprozentige Betriebszeit für Abgasbehandlungssysteme wünscht, ist unser ESCAPETWIN die perfekte Lösung. Das TWIN beinhaltet ein zweites vollkommen unabhängiges Sicherungs- ESCAPE-System innerhalb eines Gehäuses. Beide Systeme sind über ein Schwimmerventil miteinander verbunden, das im Fall einer Wartung oder Betriebsstörung des Hauptsystems automatisch auf das Sicherungssystem umschaltet. Die zwei unabhängig voneinander operierenden Verbrennungs-/Waschsysteme basieren auf dem bewährten ESCAPEINLINE®-System. Es kann jedes beliebige Brenngas verwendet werden. Die Wartung funktioniert einfach und schnell ohne dass spezielle Werkzeuge benötigt werden.
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