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Funktionsprinzip Das Schadgas wird von oben in einen Verbrennungsreaktor geführt. Darin enthaltene toxische, pyrophore oder brennbare Substanzen werden durch chemische Reaktionen, wie Oxidation, Reduktion und Pyrolyse, zersetzt. Ein Flüssigkeitsfilm verhindert Korrosion und die Anlagerung von Partikeln im Reaktor. Das Abgas wird in ein Wäschersystem geleitet, wo anschließend lösliche Gase absorbiert und die Partikel suspendiert werden. Um die sauren Bestandteile zu neutralisieren wird Lauge zugesetzt. Maximum Process Gas Flows Prozessgas Maximaler Fluss Effizienz (DRE) SiH4 5slm ≥99% NH3 40slm ≥99% H2 300slm ≥99% PH3/H2 5slm ≥99% NF3 5slm ≥98% HCl 40slm ≥99% Cl2 40slm ≥99% Gesamtgasfluss 800slm GIANT behandelt Abgase von CVD-Prozessanlagen, mit bis zu 5 separaten Schadgaseinlässen. GIANT entsorgt bis zu 800 slm Abgase aus CVD Prozessen, die über maximal 5 seperate Schadgaseinlässe dem kombinierten Brenner-Wäscher System zugeführt werden. Depositionsgase, wie z.B. SiH4, NH3, ect., und auch Kammerreinigungsgase, NF3, F2 oder SF6, können sicher und effizient entsorgt werden. Technische Beschreibung Schadgasanschlüsse: 1, 4 oder 5 separate Schadgaseinlässe mit 3-Wege-Ventilen 1 Schadgaseinlass DN40; 4-5 Schadgaseinlässe DN25. Maße: d×w×h: 1500×2000×2100mm (ca.)Wartungsflächen vor- und links neben der Anlage Vorteile Effiziente Behandlung von brennbaren, sauren und partikelbildenden Gasen, kombiniert in einem System. Kühles Abgas Die festen Partikel werden in Flüssgkeit suspendiert (keine Arbeiten mit trockenem Staub) Reduzierte Anforderungen an die Abluftleitung (Durchmesser und Durchsatz) Hoher Sicherheitsstandard (alle kritischen Parameter werden von Sensoren überwacht) Interface zum Produktionssystem Erfahrene Partner mit lokalen Vertretungen: DAS Optionale Ausstattung mit elektrostatischem Staubabscheider
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