Informationen über GIANT burnwet
GIANT burnwet
DAS Environmental Expert GmbH
|
GIANT entsorgt bis zu 800 slm Abgase aus CVD Prozessen, die über maximal 5 seperate Schadgaseinlässe dem kombinierten Brenner-Wäscher System zugeführt werden. Depositionsgase, wie z.B. SiH4, NH3, ect., und auch Kammerreinigungsgase, NF3, F2 oder SF6, können sicher und effizient entsorgt werden. |
|
|||||
|
| |||||